Особенности морфологии алмазных покрытий с нанокристаллической структурой

Статья. Опубликована в журнале Вопросы атомной науки и техники, №4, 2011, с.165-168.
Приведены результаты исследований морфологии наноструктурных алмазных покрытий, полученных в широком диапазоне условий их синтеза из газовой фазы. В зависимости от условий их получения возможна реализация нескольких морфологических типов структуры поверхности – глобулярной и пластинчатой. Исследования шероховатости поверхности покрытий со структурой разного типа показали, что структура пластинчатого типа более предпочтительна для получения наноструктурных алмазных покрытий с минимальной шероховатостью.